源測量單元( SMU )
四象限精密型 SMU
0.02% 源測量精度
2 uV 設定分辨率,15 nV 測量分辨率
1 pA 設定分辨率,10 fA 測量分辨率
適用于半導體、傳感器、模組等 IVR 測試測量